Dahaarka Dahaarka Marka walxaha tamarta sare leh ay duqeeyaan dusha adag, qurubyada dusha adag waxay heli karaan tamar waxayna ka baxsan karaan dusha sare si loogu dhejiyo substrate-ka.Ifafaalaha sputtering ayaa bilaabay in loo isticmaalo tignoolajiyada daahan 1870, oo si tartiib tartiib ah loo isticmaalo wax soo saarka warshadaha ka dib 1930 sababtoo ah korodhka heerka dhigaalka.Qalabka xashiishka ee labada tiir ee sida caadiga ah loo isticmaalo ayaa lagu muujiyay sawirka 3.Sida caadiga ah walxaha lagu shubo waxaa lagu sameeyaa saxan-bartilmaameed, kaas oo ku dhejisan cathode.Substrate-ka waxaa la dulsaaraa anode-ka u jeedda dusha bartilmaameedka, dhowr senti mitir ayuu u jiraa bartilmaameedka.Ka dib markii nidaamka lagu shubo vacuum sare, waxaa ka buuxsamay 10 ~ 1 Pa gaaska (sida caadiga ah argon), iyo koronto ah dhowr kun oo volts ayaa laga codsadaa inta u dhaxaysa cathode iyo anode, iyo dheecaan dhalaalaya ayaa ka dhex abuurma labada electrodes. .Ionooyinka togan ee ka soo baxa dheecaanku waxay u duulaan cathode iyagoo hoos yimaada ficilka beer koronto waxayna isku dhacaan atamka oogada bartilmaameedka ah.Atamyada bartilmaameedka ah ee ka baxsada dusha bartilmaameedka ee isku dhaca awgeed waxaa loo yaqaan atomamka sputtering, tamartooduna waxay ku jirtaa inta u dhaxaysa 1 ilaa tobanaan volts elektaroonig ah.Atamyada firidhsan ayaa lagu shubaa dusha sare ee substrate si ay filim u sameeyaan.Si ka duwan dahaarka uumiga, dahaarka sputter-ku kuma koobna meesha dhalaalaysa ee walxaha filimka, oo waxa ay ku tufi kartaa walxaha refractory sida W, Ta, C, Mo, WC, TiC, iwm. habka, taas oo ah, gaaska falcelinta (O, N, HS, CH, iwm.) waa
lagu daray gaaska Ar, gaaska fal-celiska ah iyo ion-yadiisa waxay la falgalaan atamka bartilmaameedka ama atamka la daadiyey si ay u sameeyaan isku-dhismeed (sida oxide, nitrogen) Compounds, iwm) oo lagu shubo substrate-ka.Habka xashiishada sare ee soo noqnoqda ayaa loo isticmaali karaa in lagu dhejiyo filimka dahaadhka ah.Substrate-ka ayaa lagu rakibay korantada dhulka ku jirta, bartilmaameedka dahaadhka ayaa lagu dhejiyaa korantada ka soo horjeeda.Hal dhammaad oo ka mid ah sahayda tamarta soo noqnoqota ayaa dhulka ku jirta, halka dhamaadkana ay ku xidhan tahay koronto ku qalabaysan bartilmaameed dahaadh ah iyada oo loo marayo shabakad isku mid ah iyo capacitor xannibaya DC.Ka dib markii la shido koronto-soo noqnoqoshada sare, korantada-sare ayaa si joogto ah u beddesha polarity-keeda.Elektroonada iyo ion togan ee balaasmaha ku jira waxay ku dhufteen bartilmaameedka dahaadhka inta lagu guda jiro wareegga badhkii togan iyo wareegga badhkii taban ee danabka, siday u kala horreeyaan.Maadaama dhaqdhaqaaqa elektarooniga ah uu ka sarreeyo kan ions togan, dusha sare ee bartilmaameedka dahaadhka ayaa si xun loo dallacay.Marka la gaaro isku dheelitirnaanta firfircoon, bartilmaameedku wuxuu joogaa awood eexeed taban, si ions togan ee ku tumanaya yoolka uu sii socdo.Isticmaalka sputtering magnetron waxay kordhin kartaa heerka dhigaalka iyadoo ku dhow nidaamka cabbirka marka la barbar dhigo kuwa aan magnetron ahayn.
Waqtiga boostada: Jul-31-2021